維修NIDEC SANKYO日本電產三協晶圓轉運機械臂SR8240-1105
客戶的三協雙臂晶圓轉移機械臂SR8240-1105因故障停機,寄來我司修理,經排查發現,是伺服電機MC401AS 302KNN38出現了故障。更換電機后,即可運行正常。
三協雙臂晶圓取放機械臂SR8240-1105優勢:
·體積小巧;
·適用于300mm 2~3個端口;
·獨立的雙末端執行器可同時拾取2個晶圓;
·間距可以與FOUP移動同步,以同時放置2個晶圓。
三協雙臂晶圓取放機械臂SR8240-1105參數:
本體重量:60 kg;
清潔度:ISO Class 1;
運動模式:3-link 水平鉸接;
運動軸數:5;
工作范圍:
Z軸(mm):300;
TH軸(°):+/-180;
X軸(mm):-440 to +440;
Roll軸(°):+/-275;
最高速度:
Z軸(mm/s):500;
TH軸(rad/s):7.82;
X軸(mm/s):1692;
Roll軸(rad/s):9.24;
線性運動(mm/s):1000;
往復精度:
XY(mm):+/-0.1;
Z(mm):+/-0.1;
晶圓尺寸:200/300;
控制柜:SC5000-STD-0002。
長科智能可以維修如下機器人故障:
Robot手臂Cross Roller異常;
RB Z軸導螺桿異常更換;
RB Z軸剎車異常更換;
RB Z軸導軌滑塊異常更換;
三協Robot SERVO AMP版本升級,HWDEF參數內容變更;
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